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1. 单面镀膜硅片：Si基底，厚度：200μm，框架Ø3mm，双面均有50nm氮化硅薄膜；

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亲水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的亲水涂层 疏水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的疏水涂层

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